纯蒸汽发生器由蒸发器、预热器和保温纯蒸汽贮汽罐及电器检测部分组成。主体蒸发器采用垂直列管降膜式蒸发原理。壳体保温效果好，热效率高，产汽快，操作安全，性能可靠，采用不锈钢螺旋分离器组成。
纯蒸汽发生器产汽工艺优，设计新颖、结构紧凑、布局合理，占地面积小，操作安全简便。工作幅度可调性好，工况点多，由加热蒸汽0.3MPa-0.6MPa(表压)对应，纯蒸汽产量相应提高，在同一加热蒸汽压力条件下，通过调节出口阀，可以得到不同背压和流量的纯蒸汽。加热蒸汽为干燥饱和、稳定供应的蒸汽，进料水应是去离子水。
原料水在一效预热器被工业蒸汽加热，注射用水一般用纯化水通过蒸馏法(还有反渗透法和超滤法)制得，化学纯度高达 99.999% ，无热原。因纯蒸汽的制备过程与用蒸馏水制备注射用水的过程相同，可使用同一台多效蒸馏水机或单独的纯蒸汽发生器。
纯蒸汽发生器节能，热效率为74%，比传统蒸柜节能45% - 65%。压力两级安全保护：万一蒸汽出口被堵住，在1分钟内切断燃气供应，压力安全阀也在2千克/立方米(0.2 MPa) 内泄压。阀体可以调节蒸汽量大小电子脉冲一键式点火，操作方便; 高功率：120秒内产蒸汽，不必等待;CO排放少，远远低于国家上限;熄火保护、防干烧保护、风机故障保护。水胆采用304级zui耐腐蚀不锈钢，具有结构合理，操作简单，热效率高，能耗低，是医院、制药、电子、食品、饮料行业灭菌消毒的理想设备，是制药工业GMP达标的设备。
纯蒸汽发生器是以去离子水为原料，用蒸汽加热制取纯蒸汽的设备。热源采用锅炉蒸汽或电加热，产生无热原的纯蒸汽，用来消毒管路、贮罐以及各类灭菌设备。
纯蒸汽发生器有手动和智能仪表两种控制方式，由输送泵将原料水输送至预热器预热，预热后的原料进入蒸发器管程中，蒸发器壳程通入工厂蒸汽加热列管中的原料水，蒸发过程中产生的二次蒸汽经蒸发器上端的二级分离装置分离后进入蒸汽缓冲罐，分离的浓水沿蒸发器中心管沉降到底部并排出，被储存的纯蒸汽在缓冲罐内经上部分分离装置再次净化分离，从而得到干燥且热能高的纯蒸汽并输送到生产工艺用气点进行消毒灭菌使用。
